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昆山瑞塞奇精密仪器有限公司
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全新扫描电镜(Hitachi)

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Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)
Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)
产品概述:
超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 "Regulus系列"现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Re…
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详细介绍



Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列


       Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

"Regulus系列"

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100 

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。

此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的良好性能。

*1

仅限Regulus8240/8230/8220



特点

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能

  • 与现有机型相比分辨率提高了20%左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仓

  • 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

样品:金颗粒
着陆电压:10 V

超高分辨观察

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV

*2  仅限Regulus8240/8230/8220


Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)



规格

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)


*3  减速模式下观察

*4  以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

Regulus SEM Layout

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)


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