QUANTAX FlatQUAD是基于革 命性的XFlash FlatQUAD探测器 的EDS微区分析系统。这一独 特设计的环形四通道SDD探测 器工作时位于扫描电镜极靴和 样品之间，能够获得EDS分析 较大的固体角。结合ESPRIT分 析软件, QUANTAX FlatQUAD 系统对于传统斜插式能谱很难 分析的样品，可提供优 素面分布效果。 XFlash FlatQUAD探测器的探头组件中，四个独立的硅漂 移芯片成环形排列于中心孔四周，入射电子束从该中心 孔穿过。探测器材料经过特殊选择, 避免对电子束产生 影响, 保证高质量的电镜图像。 使用全新的探测器技术，

 QUANTAX FlatQUAD系统的核心—XFlash FlatQUAD探测 器，

基于新颖的探测器设计理念，安装于扫描电镜 样品 仓的水平接口 ， 使探测器置于电镜极靴和样品之间。而 传统的探测器则采用电镜的倾斜接口。XFlash FlatQUAD 探测器能够与不同类型的扫描电镜兼容。 探测器配置了不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收不同 加速电压下的背散射电子。

扫描电镜能谱分析优化的固体角：

XFlash FlatQUAD探测器芯片的位置和 尺寸（4×15mm 有效面积）提供了扫描 电镜中X射线采集的较大固体角。能够 获得大于1sr的固体角和至少60°的检 出角。

超高计数率和能量分辨率兼得 

超高的采集效率带来超高的计数率， 每块芯片都配备了独立的信号处 理通道。输入计数率（ICR）和输出计数 率（OCR）可分别高达4,000kcps和1,600 kcp s 。布鲁克专业的SDD技术使得 XFlash FlatQUAD在计数率100kcps内保 证能量分辨率达到Mn-Kα126eV,C-K 51eV，F-K60eV）。

 原理：

XFlash FlatQUAD是一款平插式探测 器，置于扫描电镜极靴和样品之间。 四块硅漂移晶体成环形排列于中心 孔四周，入射电子束从中心孔穿过。 适用于不同的工作距离并具有优异 的性能。